ろ過（濾過）フィルター、オゾン発生機ならロキテクノ
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| アプリケーション | 用途 | オゾンの形態 | ロキテクノ 該当製品 |
|---|---|---|---|
| 半導体 | ウエハー洗浄 | 気相、オゾン＋H2SO4 | FA |
| 液相 | DW | ||
| 成膜 | 気相 | FA | |
| レジスト除去 | 気相、オゾン＋UV | FA | |
| 純水再生 | 気相 | FA | |
| 水の無菌化（殺菌） | 気相 | FA,BA,BX | |
| 水処理 （排水処理） | 排水処理 | 気相 | BA |
| 排水のリサイクル | 気相 | FA,BA | |
| メッキ廃水の有機物分解 | 気相、オゾン＋UV | ZR,FA,BA | |
| 染料排水 | 気相 | BX | |
| その他 | フィルムの表面改質ラミネーター | 気相 | BA |
| 排気ガスの分解(脱臭) | 気相 | BX |
オゾン脱臭の一つの有効な手法です。
ロキテクノは、お客様の条件に合わせてオゾンを中心としたトータルな脱臭プラントをご提案致します。
脱臭計画から缶体の製作・ダクト施工まで、私たちにお任せ下さい。
