フィルターのロキテクノ

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アプリケーション 用途 オゾンの形態 ロキテクノ
該当製品
半導体 ウエハー洗浄 気相、オゾン+H2SO4 FA
液相 DW
成膜 気相 FA
レジスト除去 気相、オゾン+UV FA
純水再生 気相 FA
水の無菌化(殺菌) 気相 FA,BA,BX
水処理 (排水処理) 排水処理 気相 BA
排水のリサイクル 気相 FA,BA
メッキ廃水の有機物分解 気相、オゾン+UV ZR,FA,BA
染料排水 気相 BX
その他 フィルムの表面改質ラミネーター 気相 BA
排気ガスの分解(脱臭) 気相 BX

仕込み水のオゾン水化による無菌水ライン例

仕込み水のオゾン水化による無菌水ライン例

脱臭設備

施工例

オゾン脱臭の一つの有効な手法です。
ロキテクノは、お客様の条件に合わせてオゾンを中心としたトータルな脱臭プラントをご提案致します。

脱臭計画から缶体の製作・ダクト施工まで、私たちにお任せ下さい。

オゾン脱臭プラント例

オゾン脱臭プラント例

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