오존 관련

오존의 주요 사용 사례
-반도체 및 FPD-

레지스트 제거

세척 방법:오존가스 + 온황산

Resist removal Cleaning method: ozone gas + hot sulfuric acid

세척 방법:오존 가스 + UV

Resist removal Cleaning method: ozone gas + UV